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晶圓包裝機的使用和維護保養(中)
晶圓包裝機在閑置過程中,自然力的作用(如油封油質中的腐蝕性介質的侵蝕,空氣中的水分和有害氣體的侵蝕等等)是產生磨損的主要原因,如果保管不善,缺乏必要的維護保養措施,就會使設備受腐蝕,隨著時間的延長,腐蝕面和深度不斷擴大、加深,造成精度和工作能力自然喪失,甚zhi因銹蝕嚴重而報廢。
在一般情況下,晶圓包裝機在使用過程中,零、部件的磨損都有一定規律,大致可分為三個階段:
第.一階段是初期磨損階段(也稱磨合磨損階段)。在這個階段,晶圓包裝機各零、部件表面的宏觀幾何形狀和微觀幾何形狀(粗糙度)都要發生明.顯的變化。這種現象的產生,原因是零件在加工、制造過程中,無論經何種精密加工,其表面仍有一定粗糙度。當互相配合作相對運動時,如粗糙表面由于摩擦而磨損。此時的磨損速度很快,磨損量和時間決定于零件加工的粗糙程度。這種現象一般發生在設備制造、修理的總裝調試時和投入使用期的調試和初期使用階段。
當作相對運動的零、部件的表面經磨合磨損以后,磨損進入了第二階段,即正常磨損階段。在這一階段內,如果零部件的工作條件不變或變化很小時,磨損量基本隨時間勻速增加。也就是說,在正常情況下,零、部件的磨損速度非.常緩慢。當磨損zhi一定程度,零件不能繼續工作時,這一階段的時間就是這個零件的使用壽數。