半導(dǎo)體設(shè)備的各方面內(nèi)容

半導(dǎo)體設(shè)備的各方面內(nèi)容

由于半導(dǎo)體的特殊性，制造過程必須有清潔度要求。環(huán)境中的雜質(zhì)會(huì)改變或破壞半導(dǎo)體的特性。因此，在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過程中，對(duì)生產(chǎn)車間的防塵要求很高，因?yàn)楦鞣N雜質(zhì)都可能對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生影響，如金屬離子會(huì)破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性，粉塵顆粒會(huì)破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體器件等，稍有不慎就可能導(dǎo)致半導(dǎo)體性能下降，因此許多半導(dǎo)體企業(yè)在廠房建設(shè)之初就特別注重廠房的密封性、防塵和防蟲性。影響車間清潔的主要因素是人和貨物經(jīng)常出入的門。由于人和貨物經(jīng)常出入，不僅會(huì)帶來大量的細(xì)·菌和雜質(zhì)，而且會(huì)增加車間內(nèi)外的空氣對(duì)流。另外，現(xiàn)在霧霾天氣嚴(yán)重，空氣中的雜質(zhì)普遍超標(biāo)，進(jìn)入車間很容易影響產(chǎn)品。因此，許多企業(yè)規(guī)定應(yīng)安裝快速卷簾門。

以及 等離子UV光解一體機(jī) UV光解和等離子技術(shù)是現(xiàn)今應(yīng)用于農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系廢氣降解超常用的兩種方法。采用這兩種辦法，都能將廢氣中的農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系成份，分解為無害的水及二氧化碳，并預(yù)防了二次污染。但這兩種方法，仍各有優(yōu)缺點(diǎn)。 UV光解是利用特殊的低壓紫外燈管能同時(shí)發(fā)射出185nm紫外線和254nm紫外線的雙光譜特性。燈管發(fā)射出的185nm紫外線，能觸發(fā)空氣中的O2（氧），轉(zhuǎn)化為O3（臭氧）。臭氧具有很強(qiáng)的氧化能力，其與廢氣中的碳?xì)浠衔铮ㄈ绫筋?、烴類、醇類、脂類等）充分混合接觸后，在燈管發(fā)射出的254nm紫外線的照射催化條件下，能將這些有害污染物，直接氧化分解為水和二氧化碳。由此可見，紫外燈管發(fā)。