半導體設備的各方面內容

由于半導體的特殊性，制造過程必須有清潔度要求。環境中的雜質會改變或破壞半導體的特性。因此，在半導體器件的生產過程中，對生產車間的防塵要求很高，因為各種雜質都可能對產品產生影響，如金屬離子會破壞半導體器件的導電性，粉塵顆粒會破壞半導體器件的表面結構半導體器件等，稍有不慎就可能導致半導體性能下降，因此許多半導體企業在廠房建設之初就特別注重廠房的密封性、防塵和防蟲性。影響車間清潔的主要因素是人和貨物經常出入的門。由于人和貨物經常出入，不僅會帶來大量的細·菌和雜質，而且會增加車間內外的空氣對流。另外，現在霧霾天氣嚴重，空氣中的雜質普遍超標，進入車間很容易影響產品。因此，許多企業規定應安裝快速卷簾門。

以及 等離子UV光解一體機 UV光解和等離子技術是現今應用于農業生產體系廢氣降解超常用的兩種方法。采用這兩種辦法，都能將廢氣中的農業生產體系成份，分解為無害的水及二氧化碳，并預防了二次污染。但這兩種方法，仍各有優缺點。 UV光解是利用特殊的低壓紫外燈管能同時發射出185nm紫外線和254nm紫外線的雙光譜特性。燈管發射出的185nm紫外線，能觸發空氣中的O2（氧），轉化為O3（臭氧）。臭氧具有很強的氧化能力，其與廢氣中的碳氫化合物（如苯類、烴類、醇類、脂類等）充分混合接觸后，在燈管發射出的254nm紫外線的照射催化條件下，能將這些有害污染物，直接氧化分解為水和二氧化碳。由此可見，紫外燈管發。